Для производства полупроводников и проверки электронных компонентов применяются многочисленные процессы, требующие точного регулирования температуры. К ним относится, например, химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD) при нанесении покрытия на полупроводники в качестве предварительного этапа производства светодиодов. К другим типичным исследованиям в полупроводниковой промышленности, зависящим от температуры, относятся стресс-тесты для функциональных и нагрузочных испытаний, моделирование условий окружающей среды и внутрисхемное тестирование для электронных компонентов.
Основные области применения
ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
В полупроводниковом производстве плазменное травление представляет собой центральное звено технологической цепочки: при этом различается сухое и мокрое травление. Сейчас LAUDA предлагает системы термостатирования для сухого травления, при котором полупроводниковые пластины обрабатываются плазмой в вакуумной камере для травления. Ионы, содержащиеся в плазме, бомбардируют пластины, тем самым отделяют материал. К примеру, так можно удалить оксидный слой на кремниевой пластине, чтобы затем нанести легированные слои (смешанные с чужеродными атомами и обладающие за счет этого определенной электропроводностью). Температура плазмы влияет на скорость и эффективность травления. При слишком низкой температуре плазма недостаточно активна для эффективного удаления материала. Если температура слишком высока, материал может подвергнуться чрезмерной эрозии, а это приведет к неточностям и повреждениям. В связи с этим в полупроводниковом производстве важно максимально точно контролировать температуру плазмы, поскольку пластины обрабатываются в микро- и нанометровом диапазоне. Даже незначительное изменение температуры может привести к значительному изменению размеров и формы вытравленных структур. LAUDA предлагает специально разработанные для этого чувствительного процесса термостаты Semistat.
Часто используемые продукты
ИЩЕТЕ ИНДИВИДУАЛЬНУЮ СИСТЕМУ ТЕРМОСТАТИРОВАНИЯ?
Руководствуясь принципом «модульного конструирования», компания LAUDA проектирует и изготавливает установки в точном соответствии с пожеланиями клиентов: процессно-ориентированные, узкоспециализированные и отличающиеся точностью регулировки, с соблюдением строгих стандартов безопасности.
НЕ НАШЛИ ТО, ЧТО ИСКАЛИ?
Ответьте на несколько вопросов, и на следующем этапе мы разработаем для вас индивидуальную систему термостатирования.
LAUDA SCIENTIFIC
Ищете измерительные приборы, идеально объединяющие в себе точность, надежность и долговечность?
Контакты
Поиск представителя рядом с вами?
Поддержка
