Lors de la fabrication de semi-conducteurs et du contrôle de composants électroniques, de nombreux process doivent être thermorégulés avec précision. C'est, par exemple, le cas pour la gravure ionique réactive ou l'épitaxie en phase vapeur aux organométalliques (MOCVD) pour le revêtement de semi-conducteur en tant que phase préliminaire de la production de LED. Les tests de stress en vue du contrôle du fonctionnement et de la charge, les simulations environnementales et les in-circuit-tests pour les modules électroniques sont d'autres processus typiques dépendants de la température.
Domaines d'application typiques
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