Быстрое и точное термостатирование для сложных процессов. Термоэлектрические системы термостатирования LAUDA Semistat, основанные на проверенных принципах теплопередачи элементов Пельтье, обеспечивают воспроизводимую регулировку температуры при плазменном травлении.
Данная система обеспечивает динамическое регулирование температуры электростатического держателя пластин (ESC) и может использоваться для любых видов травления.
Эти продуманные системы энергоэффективны, компактны, стабильно регулирую температуру и идеально подходят для производства различных деталей, которые в современном мире становятся все меньше.
Благодаря использованию систем регулирования температуры на месте использования (Semistat) потребление энергии по сравнению с системами на базе компрессора можно снизить на 90 %. Поскольку устройство занимает очень мало места и его можно установить под полом на месте использования, расход площади чистого помещения минимизируется. Быстрое и точное регулирование температуры профилей температур процесса до ±0,1 K позволяет достигать более высокой однородности «от пластины к пластине».
Рабочая температура, мин.
-20 °C
Рабочая температура, макс.
90 °C
Постоянство температурного режима
0.1 ± K
Выберите до 4 технических параметров, которые вы хотите видеть в таблице
| Продукт | Мин. рабочая температура | Макс. рабочая температура | Теплопроизводительность, макс. | Холодопроизводительность при 20 °C 50 Гц | Сравнить продукт | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Semistat S 1200 | -20 °C | 90 °C | 3 kW | 1.2 kW | подробности | |
| Semistat S 2400 | -20 °C | 90 °C | 6 kW | 2.45 kW | подробности | |
| Semistat S 4400 | -20 °C | 90 °C | 12 kW | 4.4 kW | подробности |
В вашем сравнительном списке уже есть три продукта.
Для сравнения других продуктов удалите один из продуктов в вашем сравнительном списке.
