Regulación de temperatura rápida y precisa para procesos exigentes. Tomando como base los acreditados principios de transmisión de calor de los elementos Peltier, los sistemas termoeléctricos de regulación de temperatura LAUDA Semistat proporcionan una regulación reproducible de la temperatura para aplicaciones de grabado por plasma.
La regulación dinámica de la temperatura del porta obleas electrostático (ESC) permite que los equipos se utilicen en todo tipo de procesos de grabado.
Gracias a la regulación estable de temperatura, su eficiencia energética y diseño compacto, estos ingeniosos sistemas, son ideales para la producción de componentes cada vez más pequeños.
El uso de sistemas de regulación de temperatura Semistat permite reducir el consumo de energía hasta un 90 % con respecto a sistemas basados en compresores. El espacio necesario mínimo junto a la posibilidad de realizar una instalación bajo el suelo en el punto de uso minimiza la ocupación del espacio limpio. Gracias a una regulación rápida y precisa de la temperatura de los perfiles de temperatura del proceso con una exactitud de ±0,1 K se logra una homogeneidad "Wafer-to-Wafer" mejorada.
Temperatura de trabajo mín.
-20 °C
Temperatura de trabajo máx.
90 °C
Estabilidad de temperatura
0.1 ± K
Seleccione hasta 4 parámetros técnicos que quiere que se muestren en la tabla
| Producto | Temp. de trabajo mín. | Temp. de trabajo máx. | Potencia calorífica máx. | Potencia de frío a 20 °C 50 Hz | Comparar el producto | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Semistat S 1200 | -20 °C | 90 °C | 3 kW | 1.2 kW | detalles | |
| Semistat S 2400 | -20 °C | 90 °C | 6 kW | 2.45 kW | detalles | |
| Semistat S 4400 | -20 °C | 90 °C | 12 kW | 4.4 kW | detalles |
| Dispositivo | Categoría de dispositivo | Tipo de documento | Idioma | Formato | Talla | |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Capítulo Termostatos de circulación y proceso Catálogo general | Termostatos para procesos | Prospectos |
Español
| 4,9 MB | 
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