Thermoelektrische Prozessthermostate von -20 bis 90 °C für die Halbleiterindustrie
Schnelle und päzise Temperaturregelung für anspruchsvolle Prozesse. Basierend auf den bewährten Prinzipien der Wärmeübertragung von Peltier-Elementen, bieten die thermoelektrischen Systeme zur Temperaturregelung LAUDA Semistat reproduzierbare Temperaturregelung für Plasmaätzanwendungen.
Durch dynamische Temperaturregelung des elektrostatischen Wafer-Chucks (ESC) können die Geräte mit allen Arten von Ätzprozessen eingesetzt werden.
Energieeffizient, platzsparend und mit stabiler Temperaturregelung sind sie dank dieser ausgeklügelten Systeme ideal bei der Herstellung immer kleiner werdender Bauteile.
Übersicht
Vorteile und Mehrwert
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Kompressor- und kältemittelfreies System mit niedrigem Energieverbrauch
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Branchenweit kleinste Standfläche, ideal geeignet für Unterflurinstallation
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Sehr geringes Temperierflüssigkeitsvolumen
Arbeitsbereich
Durch den Einsatz von Semistat Temperiersystemen ist eine Verringerung des Energieverbrauchs um bis zu 90 % gegenüber kompressorbasierten Systmen möglich. Ein sehr geringer Platzbedarf mit der Möglichkeit der Unterflurinstallation am Point-of-Use führt zur Minimierung des Verbrauchs von Reinraum. Durch schnelle und präzise Temperaturregelung der Prozesstemperaturprofile auf ±0,1 K wird eine verbesserter Wafer-to-Wafer-Homogenität erreicht.
Arbeitstemperatur min.
-20 °C
Arbeitstemperatur max.
90 °C
Temperaturkonstanz
0.1 ± K
Gerätelinien
Wählen Sie bis zu 4 technische Parameter, die Sie in der Tabelle anzeigen lassen möchten
| Produkt | Arbeitstemp. min. | Arbeitstemp. max. | Heizleistung max. | Kälteleistung bei 20 °C 50 Hz | Produkt vergleichen | Produkt kaufen | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Semistat S 1200 | -20 °C | 90 °C | 3 kW | 1.2 kW |
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Details | |
| Semistat S 2400 | -20 °C | 90 °C | 6 kW | 2.45 kW |
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Details | |
| Semistat S 4400 | -20 °C | 90 °C | 12 kW | 4.4 kW |
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Details |
Geräteabmessungen
Kennlinien
Downloads - Allgemeine Produktdaten
| Gerät | Gerätekategorie | Dokumententyp | Sprache | Format | Größe | |
|---|---|---|---|---|---|---|
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Kapitel Umwälz- und Prozessthermostate Gesamtprospekt |
Prozessthermostate | Prospekt |
Deutsch
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4,88 MB |
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| Thermoelektrische Prozessthermostate | Prozessthermostate | Prospekt |
Deutsch
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