Thermostats de process thermoélectriques de -20 à 90 °C pour l'industrie des semi-conducteurs
Régulation rapide et précise de la température pour les process exigeants. Basés sur les principes éprouvés de transfert de chaleur des éléments Peltier, les systèmes thermoélectriques de contrôle de température LAUDA Semistat offrent un contrôle de température reproductible pour les applications de gravure au plasma.
Grâce à la régulation de température dynamique du support de tranche électrostatique (ESC), les appareils peuvent être utilisés avec tous types de processus de gravure.
Efficaces sur le plan énergétique, peu encombrants et dotés d'une régulation stable de la température, ils sont, grâce à ces systèmes ingénieux, idéaux pour la fabrication de composants de plus en plus petits.
Aperçu
Avantages et valeur ajoutée
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Système sans compresseur ni fluide frigorigène à faible consommation d'énergie
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Plus faible encombrement du secteur, idéal pour une installation sous plancher
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Volume très faible de liquide caloporteur
Espace de travail
Grâce à l'utilisation des systèmes de thermorégulation Point-of-Use (POU), il est possible de réduire la consommation énergétique de 90 % par rapport aux systèmes à base de compresseur. Un encombrement très faible et une installation possible sous plancher au Point-of-Use permettent de réduire la consommation de la salle blanche. La régulation de température rapide et précise des profils de température de process de ±0,1 °C permet d'améliorer l'homogénéité Wafer-to-Wafer.
Température de fonctionnement min.
-20 °C
Température de fonctionnement étendue max.
90 °C
Constance de la température
0.1 ± K
Lignes d'appareils
Sélectionnez jusqu'à 4 paramètres techniques que vous souhaitez afficher dans le tableau
| Produit | Température de travail min. | Temp. de travail max. | Puissance de chauffe max. | Puissance frigorifique à 20 °C 50 Hz | Comparer le produit | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Semistat S 1200 | -20 °C | 90 °C | 3 kW | 1.2 kW | Détails | |
| Semistat S 2400 | -20 °C | 90 °C | 6 kW | 2.45 kW | Détails | |
| Semistat S 4400 | -20 °C | 90 °C | 12 kW | 4.4 kW | Détails |
Dimensions de l'appareil
Courbes caractéristiques
Téléchargements - Données générales sur les produits
| Appareil | Catégories d'appareil | Type de document | Langue | Format | Taille | |
|---|---|---|---|---|---|---|
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Chapitre Thermostats à circulation et de process Catalogue général |
Thermostats process | Prospectus |
Français
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5,31 MB |
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