温度范围从 -20 至 90°C 的热电式过程恒温器，适用于半导体行业
快速且精准温度调节，可用于严苛要求的工艺过程。LAUDA Semistat 热电式温度调节系统基于经过验证的 Peltier 元件传热理论，为等离子刻蚀应用提供可重复性温度控制。
通过对静电晶圆夹盘 (ESC) 的动态温度调节，该设备可用于所有类型的刻蚀过程。
该系列产品节省能源、节省空间且具有稳定的温度调节系统，使其成为制造更小部件的理想之选。
概览
优势和附加价值
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无压缩机和制冷剂的低能耗系统
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行业范围内占地面积最小，非常适合安装于地板之下
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非常低的温度控制液体量
工作范围
与基于压缩机的系统相比，通过在使用地点 (Point-of-Use) 使用温度控制系统，降低能耗多达 90 %。可安装在使用地点的地下，非常节省空间，这样最大限度地减少无尘室的使用。快速和精准地将过程温度曲线控制在 ±0.1 K，从而提高晶圆间均质性。
最小工作温度
-20 °C
最大工作温度
90 °C
温度稳定性
0.1 ± K
设备线
选择最多 4 个希望显示在表格中的技术参数
| 产品 | 最低工作温度 | 最高工作温度 | 最大加热功率 | 20 °C 50 Hz 时的制冷功率 | 比较产品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Semistat S 1200 | -20 °C | 90 °C | 3 kW | 1.2 kW | 详情 | |
| Semistat S 2400 | -20 °C | 90 °C | 6 kW | 2.45 kW | 详情 | |
| Semistat S 4400 | -20 °C | 90 °C | 12 kW | 4.4 kW | 详情 |
设备尺寸
116 x 232 x 470 mm
194 x 300 x 560 mm
116 x 300 x 560 mm
特性曲线
下载 - 一般产品数据
| 设备 | 设备类别 | 文件类型 | 语言 | 格式 | 尺寸 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 热电的工艺恒温控制器 | 工艺过程温控器 | 产品说明手册 |
中文
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1,43 MB |
下载文档
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适用配件
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