Semistat S 1200

与基于压缩机的系统相比,通过在使用地点 (Point-of-Use) 使用温度控制系统,降低能耗多达 90 %。可安装在使用地点的地下,非常节省空间,这样最大限度地减少无尘室的使用。快速和精准地将过程温度曲线控制在 ±0.1 K,从而提高晶圆间均质性。

订购编号: L003276

性能特征

Thermoelectric process thermostat with low energy consumption
Quiet and low vibration level operation due to refrigerant free cooling technology
No filters or DI components required
With a connection to purge with clean dry air (CDA) to prevent condensation
Use of perfuorinated fluids
Water cooled system
Compact overall size and low weight
Extremely low volume of heat transfer liquid

工作范围

最小工作温度

-20 °C

最大工作温度

90 °C

温度稳定性

0.1 ± K

技术特征

工作温度范围
-20 ... 90 °C
温度稳定性
0.1 ± K
最小加热功率
3 kW
最小灌注容积
1 L
最大灌注容积
1.3 L
尺寸(宽x深x高)
116 x 232 x 470 mm
重量
15 kg
电源供应
Connection to PSC
温度冷却能力 50 赫兹冷却能力 60 赫兹
20 °C1.2 kW1.2 kW
10 °C0.9 kW0.9 kW
0 °C0.6 kW0.6 kW
-10 °C0.35 kW0.35 kW
-20 °C0.08 kW0.08 kW
20 °C1.2 kW1.2 kW
10 °C0.9 kW0.9 kW
0 °C0.6 kW0.6 kW
-10 °C0.35 kW0.35 kW
-20 °C0.08 kW0.08 kW

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