循环和过程恒温器 Semistat S 2400

Semistat S 2400

与基于压缩机的系统相比，通过在使用地点 (Point-of-Use) 使用温度控制系统，降低能耗多达 90 %。可安装在使用地点的地下，非常节省空间，这样最大限度地减少无尘室的使用。快速和精准地将过程温度曲线控制在 ±0.1 K，从而提高晶圆间均质性。

订购编号: L003277

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性能特征

Thermoelectric process thermostat with low energy consumption

Quiet and low vibration level operation due to refrigerant free cooling technology

No filters or DI components required

With a connection to purge with clean dry air (CDA) to prevent condensation

Use of perfuorinated fluids

Water cooled system

Compact overall size and low weight

Extremely low volume of heat transfer liquid

SEMI S2 and F47 compliant

工作范围

最小工作温度

-20 °C

最大工作温度

90 °C

温度稳定性

0.1 ± K

技术特征

工作温度范围

-20 ... 90 °C

温度稳定性

0.1 ± K

最小加热功率

6 kW

最小灌注容积

1.25 L

最大灌注容积

1.6 L

尺寸（宽x深x高）

116 x 300 x 560 mm

重量

27 kg

净重

26.81 kg

电源供应

Connection to PSC

温度	冷却能力 50 赫兹	冷却能力 60 赫兹
20 °C	2.45 kW	2.45 kW
10 °C	1.93 kW	1.93 kW
0 °C	1.4 kW	1.4 kW
-10 °C	0.88 kW	0.88 kW
-20 °C	0.35 kW	0.35 kW

数据表 Semistat S 2400

下载 - 一般产品数据

设备	设备类别	文件类型	语言	格式	尺寸
热电的工艺恒温控制器	工艺过程温控器	产品说明手册	中文	PDF	1,43 MB	下载文档

适用配件

FILL CANISTER 1 GAL

FILL CANISTER 3 GAL

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