Semistat S 2400

Grâce à l'utilisation des systèmes de thermorégulation Point-of-Use (POU), il est possible de réduire la consommation énergétique de 90 % par rapport aux systèmes à base de compresseur. Un encombrement très faible et une installation possible sous plancher au Point-of-Use permettent de réduire la consommation de la salle blanche. La régulation de température rapide et précise des profils de température de process de ±0,1 °C permet d'améliorer l'homogénéité Wafer-to-Wafer.

Référence: L003277
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Caractéristiques

Thermostat thermoélectrique de processus à faible consommation d'énergie
Fonctionnement silencieux, sans vibrations grâce à la technologie de refroidissement sans fluide frigorigène
Aucun filtre ou composant DI n'est nécessaire
With a connection to purge with clean dry air (CDA) to prevent condensation
Utilisation de fluides perfluorés
Système de refroidissement à eau
Encombrement et poids très faibles.
Volume extrêmement faible de liquide caloporteur
Conforme à SEMI S2 et F47

Espace de travail

Température de fonctionnement min.

-20 °C

Température de fonctionnement étendue max.

90 °C

Constance de la température

0.1 ± K

Caractéristiques techniques (selon DIN 12876)

Plage de température de fonctionnement
-20 ... 90 °C
Constance de la température
0.1 ± K
Puissance de chauffe min.
6 kW
Volume de remplissage min.
1.25 L
Volume de remplissage max.
1.6 L
Dimensions (l x P x H)
116 x 300 x 560 mm
Poids
27 kg
Poids net
26.81 kg
Alimentation secteur
Connection to PSC
TempératurePuissance frigorifique 50 HzPuissance frigorifique 60 Hz
20 °C2.45 kW2.45 kW
10 °C1.93 kW1.93 kW
0 °C1.4 kW1.4 kW
-10 °C0.88 kW0.88 kW
-20 °C0.35 kW0.35 kW
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Chapitre Thermostats à circulation et de process
Catalogue général 		Thermostats process Prospectus
Français
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