温度范围从 -20 至 90°C 的热电式过程恒温器
Semistat 设备线
LAUDA Semistat 热电式温度调节系统基于经过验证的 Peltier 元件传热理论，为等离子刻蚀应用提供可重复性温度控制。通过对静电晶圆夹盘 (ESC) 的动态温度调节，该设备可用于所有类型的刻蚀过程。该系列产品节省能源、节省空间且具有稳定的温度调节系统，使其成为制造更小部件的理想之选。
热电过程恒温器适用于 -20 至 90 °C 的半导体行业
制冷功率从 1.2 kW 至 4.4 kW
加热功率从 3 kW 至 12 kW
请选择所需工作温度以相应地限制列表范围
| 产品 | 最低工作温度 | 最高工作温度 | 最大加热功率 | 20 °C 50 Hz 时的制冷功率 | 比较产品 |
|---|---|---|---|---|---|
| Semistat S 1200 | -20 °C | 90 °C | 3 kW | 1.2 kW | |
| Semistat S 2400 | -20 °C | 90 °C | 6 kW | 2.45 kW | |
| Semistat S 4400 | -20 °C | 90 °C | 12 kW | 4.4 kW |
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